近幾年來，大量的實驗和實踐表明，N0x、S0x、NaCl-等物質被帶入凈化車間或無塵室所產生的污染物質中，還包括N0x、S0x、NaCl-、硼和DOP等機細空氣中的顆粒；機細玻纖產品中的硼和DOP顆粒；用戶自身所產生的NH、Na*等污染物質；凈化車間原料所產生的各種有機物、金屬離子；以及生產過程中使用的溶劑、洗滌液所產生的各種化學污染物質等。
因此，化學分子態污染物質(AirbomlMolecularContaminants.簡稱AMC)的預防提到了日常生活，可以預見，隨著超大規模集成電路芯片技術的不斷發展，用于去除分子態污染物質、化學污染物質的空氣凈化器和相應的檢測手段將得到廣泛應用和改進。
在電子產品的生產過程中，電子學和凈化車間工藝對凈化辦公環境有更高的要求。
例如:電真空器件-彩色顯示管、顯示裝置、電子材料生產、光纖與光纖通信產品、靜密電子儀器、電子計算機組裝、光盤、磁性記錄設備、半導體元件和集成電路芯片等。
特別是隨著集成電路芯片生產的快速發展，其特征規格日益細化，集成度日益提高。目前使用的0.09am超大規模集成電路芯片規定凈化車間空氣潔凈度為IS01級，控制粒徑為0.03am；因此，近年來，隨著超大規模集成電路芯片的發展，潔凈技術的發展日新月異?？梢哉f，電子產品的不斷升級帶來了潔凈度的不斷發展，從3級空氣潔凈度、0.5am控制粒徑到目前國際標準ISO14644-1的基本空氣潔凈度等級為9級，控制粒徑分為0.1|±m、0.2|JLm、0.3|JLrn、0.5|xm等。
電子行業生產過程中對辦公環境的控制規定不僅嚴格規定了凈化車間空氣的清潔度，還嚴格控制了與電子行業生產過程直接接觸的各種高純介質，如高純水、高純氣體、高純化學品等的純雜質含量；一些電子行業也對振動、靜電、電磁干擾和供電有嚴格的規定。
